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青島凈化工程

青島凈化工程的溫度和濕度主要根據(jù)您的加工工藝要求來決定。在滿足加工工藝的條件下,應以人的舒適性為主要選擇。

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青島凈化工程

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  • 青島凈化工程的溫度和濕度主要根據(jù)您的加工工藝要求來決定。在滿足加工工藝的條件下,應以人的舒適性為主要選擇。隨著青島凈化工程空氣潔凈度要求的提高,過程中對溫度和濕度的要求越來越高,達到一定的溫度和濕度等。例如,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,要求作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)之差越來越小。對于直徑為100um的硅片,溫度上升1度,引起0.24um的線膨脹,所以有0.1度的恒溫,同時要求濕度值低,因為人出汗后,會對產(chǎn)品造成污染,尤其是怕鈉的半導體車間,這個車間不要超過25度。

    青島凈化工程濕度過大會導致更多問題。當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁會發(fā)生冷凝。如果發(fā)生在精密器件或電路中,會引起各種事故。當相對濕度為50%時,容易生銹。

    青島凈化工程中控制溫濕度的具體措施是什么?

    但是,對于大多數(shù)清潔空間,為了防止外部污染侵入,需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的保持應符合以下原則:

    1.高潔凈度空間的壓力高于相鄰低潔凈度空間的壓力。

    2.相通潔凈室之間的門應該向低潔凈度的房間敞開。

    3.青島凈化工程潔凈空間的壓力高于不潔凈空間。

    壓差的維持取決于新風量,新風量可以補償在此壓差下從縫隙中漏出的風量。因此,壓差的物理意義是青島凈化工程中通過各種縫隙的泄漏(或滲透)氣流的阻力。

    對于青島凈化工程來說,空氣稀釋是減少室內(nèi)污染的主要途徑,因此主要采用通風頻率的概念,而不是直接采用速度的概念。但是,室內(nèi)氣流速度也有以下要求;

    1.送風口出口處的風速不應過高。與空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴散角更大。

    2.空氣流過水平面的速度(如側(cè)線輸送時的回流速度)不宜過高,以免吹爆表面顆粒,回到空氣流中,造成二次污染。該速度不應為0.2m/s。

精品工程

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